高純氧氣標(biāo)準(zhǔn)是什么
高純氧氣標(biāo)準(zhǔn)是什么?
高純氧技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)
| 項(xiàng)目 | 指標(biāo) | 優(yōu)等品 | 一等品 | 合格品 | 
| 氧純度,10-2 | ≥ | 99.999 | 99.998 | 99.995 | 
| 氬含量,10-6 | ≤ | 2 | 5 | 10 | 
| 氮含量,10-6 | ≤ | 5 | 10 | 20 | 
| 二氧化碳含量,10-6 | ≤ | 0.5 | 1 | 1 | 
| 總烴含量(以甲烷計(jì)),10-6 | ≤ | 0.5 | 1 | 2 | 
| 水分含量,露點(diǎn)℃10-6 | ≤ | -72 | -70 | -69 | 
| 2 | 2.5 | 3 | 
高純氧主要用于標(biāo)準(zhǔn)混合氣的制備、科學(xué)研究、集成電路和半導(dǎo)體器件的生產(chǎn),也適用于對(duì)氧氣純度較高的氣體領(lǐng)域。

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